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双通道动态配气仪厂家
参考价:

型号:HNPPQ-Ⅰ

更新时间:2016-03-24  |  阅读:575

详情介绍

主要特点

      l  zui先的质量流量混比法

      l  精度高、重复性好

      l  800×480 TFT触控屏

      l  全进口气路快插件,使用方便

      l  具备自校准功能,自动修正流量体积

      l  稀释气体可多选,目前支持:SF6、N2、O2、Air等

      l  具备程控配气方式,可在特定时间段内输出特定成分气体

技术参数

流量范围

配气通道0~150mL/min,平衡通道0~600mL/min

准 确 度

±1.0% F.S

重 复 性

±0.2% F.S

zui大输出流量

1000ml/min

zui小输出流量

2% F.S

zui大稀释比

200:1

工作电源

AC 220V/50Hz

工作环境

环境温度:-20℃~60℃ 
相对湿度:0~90%RH

管道连接

高级特氟龙管快插连接 
减压阀:*

尺 寸

约470mm×370mm×240mm

 

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